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    公开号:WO1984003788A1
    申请号:PCT/JP1984/000110
    申请日:1984-03-16
    公开日:1984-09-27
    发明作者:Kiyonori Hayakawa；Akio Mishima
    申请人:Sony Corp；
    IPC主号:G11B5-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] 発明の名称 垂直記録用単磁極型複合磁気へッ ド 技術分野
    [0003] 本発明は磁気記録媒体 と して例えばフ レ キ シ ブ ルデ イ スク を使用する フ レ キ シ ブ ル デ ィ ス ク装置の記録再 生へッ ドと して用いて好適な垂.直記録用単磁極-型複合 磁気ヘ ッ ドに関する 。 '
    [0004] 背景技術
    [0005] 一般に磁気記録媒体 と してフ レ キ シ ブ ルディ ス ク を 使用する フ レ キ シ ブ ル'デ ィ ス ク装置が提案されてい る, こ の フ レ キ シ ブ ル デ ィ ス ク装置は記録再生へッ ド の 一 個を使用 し、 記録再生を行 う様に した も ので、 斯る フ レ キ シ プ ルディ ス ク装置に於いては磁気記録媒体の取 付時 （ チ ヤッ キ ン グ時 ） に生ずる多少のずれ、 磁気記 録媒体の温度、 湿度の変化に よ 生ずる伸縮に よ ト ラ ッ クずれを生ずる不都合があ ！） 、 特に再書込み時に こ の ト ラ ッ クずれに よ ] λ前デー タ の消 し残 ] を生 じる等 があ ] 、 この為再生時に正確なデー タ を得る こ と がで きない不都合があった。
    [0006] 斯る フ レ キ シ ブ ル デ ィ ス ク装置の記録再生へ ッ ドと して先に本出願人に よ ] 、 特開昭 5 8 - 1 5 3 2 1 6 号に おいて提案されてい る高密度磁気記録 （ 短波長記録 ） を行 う こ とができ製造が容易'な第 1 図に示す如 き垂直 記録用磁気へ ッ ドを使用する こ とが考え られる。 この f O PI ヽ 垂直記録用磁気へッ ド Hは軟磁性材料薄膜よ ！） な ] 一 端において磁気記録媒体に対向 し、 所定の幅を有する 主磁極（1)をガー ド材ブ 口 ック（2) ）に よ 挟持する よ う に接合して一体化する。 こ のガー ド材プ ロ ッ ク（2) (21は 磁気記録媒体の対接面か ら所要の位置まで延在する非 磁性ガー ド部材は） と この後方に接合される磁性 コ ア 部（4) から形成され、 こ の磁性コ ア部（4) (4ίには主磁極 (1)に接合されコ ィ ル )が巻装される補助磁極部 (6) (6 と、 主磁極（1)の磁束の リ タ ーンハ°ス となる リ タ ーン ス部 (7) (7jと を磁気的に分離する 溝部（8) (8ίが形成されてお 、 この溝部（S) ^)を通 して主磁極（1)に補助磁極部（6) ( を介 してコ イ ル（5)が巻装されて構成されている。 斯る垂直 記録用磁気へッ ドに依れば高密度磁気記録を行 う こ と ができ る。
    [0007] 然 しなが ら斯る第 1 図に示す如 き垂直記録用磁気へ ッ ドを使用 して も磁気記録媒体の取付時のずれ、 磁気 記録媒体の温度、 湿度の変化に よ る伸縮に よ る ト ラ ッ クずれが生 じ、 再書込時に前データの消 し残 ] を生 じ る等に よ 再生時に正確なデー タ を得る こ とができな い不都合が屢々 あった。 本発明は斯る点に鑑み、 磁気 記録媒体の取付時の多少のずれ、 温度、 湿度の変化に よ る伸縮等によ ] ト ラ ッ クずれが生 じても再書込時に 前デー タ の消 し残 等が生 じない様に し、 再生時に正 確なデータが得られる様にした も のを提案する。 発明の鬨示
    [0008] 本発明は軟磁性材料薄膜 よ ]5 な ]) —端に いて磁気 記録媒体に対向 し、 所定の幅を有する記録再生用主磁 極 と、 こ の記録再生用主磁極を磁気記録媒体対向面に おいて両側か ら挟む非磁性ガー ド部材と、 こ の非磁性 ガー ド、部材 と一体化され、少なく と も記録再生用主磁極 の一面に接 し、 磁気記録媒体か 所定の距離後退 した 位置に配された磁性コ ア部 と、 こ の磁性コ ア部に設け られ、 記録再生用主磁極に接する第 1 の補助磁極部 と この記録再生用主磁極の磁束の リ タ ー ン ハ。 ス とな る リ タ ー ン ハ° ス部と を分離する溝部 と を有 し、 この溝部を 通 して記録再生用主磁極に巻線が施されて成る垂直記 録再生へッ ド、部 と、 磁気記録媒体に対向 し、 この磁気 記録媒体の走行方向において記録再生用主磁極 と所定 の距離はなれた位置に設け られ、 こ の記録再生用主磁 極の幅 よ 1 小な る間隔で配された一対の消去用主磁極 と、 こ の消去用主磁極を励.磁する 消去巻線 と よ ]) な る 消去ヘッ ド部 と よ ] な ] 、 こ の記録再生用主磁極 と こ の消去用主磁極が磁気記録媒体対向面において非磁性 ガー ド、部材を介 して一体化された も ので、 磁気記録媒 体の取付時の多少のずれ、 温度 · 湿度の変化に よ る伸 縮等に よ ] ト ラ ッ クずれが生 じて も再書込時に前デー タ の消 し残 ]9等が生 じない様に し、 再生時に正確なデ —タが得 られる様に した も のであ る。 図面の簡単な説明
    [0009] 第 1 図は垂直記録用磁気へッ ドの例を示す断面図、 第 2 図は本発明垂直記録用単磁極型複合磁気へッ ドの 一実施例を示す断面図、 第 3 図は第 2 図の上面図、 第 4 図は本発明垂直記録用単磁極型複合磁気ヘ ッ ドの製 造例を示す線図、 第 5 図、 第 6 図、 第 7 図、 第 8 図及 び第 9 図は夫々 第 4 図の説明に供.す .る線図、 第 10 図、 第 12図、 第 15図、 第 16図、 第 25図及び第 26 図は夫 夫本発明の他の実施例を示す断面図、 第 11図は第 10 図の説明に'供する線図、 第 13図は第 12図の説明に供 する線図、 第 14図は本発明の他の実施例の説明に供す る線図、 第 17図、 第 18図、 第 19 図、 第 20 図、 第 2 1 図、 第 22図、 第 23 図及び第 24図は夫々 第 16図の説明 に供する線図、 第 27 図は第 26 図の説明に供する線図 であ る。
    [0010] 発明を実施するための最良の形態
    [0011] 以下第 2 図及び第 3 図を参照 しなが ら本発明垂直記 録用単磁極型複合磁気へッ の一実施例につ き説明 し よ う 。
    [0012] 第 2 図及び第 3 図に於いて、 ο)は軟磁性材料薄膜よ
    [0013] ]9な ] 磁気記録媒体（Π)に対接する一端を所定幅と した 記録再生用の主磁極を示 し、 この記録再生用主磁極 . ο) を磁気記録媒体 airの対向面に於いて所定の厚さの非磁 性ガー ド、部材 （12 a) 及び （12b) で両側か ら一体に挟持 接合する と共に こ の非磁性ガー ド部材 （12a) 及び (12b) の後方に接合 しこの記録再生用主磁極 ο)を両側か らー 体に挟持接合 して磁気コ ア （13 a) 及び非磁性体 （13b) を設ける。 この場合、 非磁性ガー ド、部材 （12a) の後方 に設けられた磁気コ ア （13a) は記録再生用主磁極の磁 束の リ ター ン ス を構成する 。 こ の磁気 コ ア （13 a) の 非磁性ガー ド部材 （12a) の接する側の記録再生用主磁 極 ωの近傍に この記録再生用主磁極 α の近傍の補助磁 極部 （14 a) と この記録再生用主磁極 0)の磁束の リ ター ン ハ0 ス と なる リ タ ー ン ハ° ス部 （14b) と を分離する溝部 (15)を設ける。 又非磁性体 （13b) の非磁性ガー ド、部材 (12b) に接する側に所定の溝 ¾(L6) を設け、 これ等溝部 (15)(16)を通 して記録再生用主磁極 Q)に記録再生用卷線（17) を施す。 こ こ で使用される磁気記録媒体 αΐ)と しては例 えば合成樹脂の支持体 （lla) 上に高透磁率材料層（lib) を設け、 こ の高透磁率材料層 （lib) 上に垂直記録層 ' (lie) を設けたも のであ る。
    [0014] 尚、 磁気 コ ア （13a) (13 c) は記録再生側と消去側のク ロ ス ト ーク を防 ぐためにはその向かい合 う 面積はそれ ぞれの磁路を確保 した上で小さい方が よい。 この場合 磁気コ ア （13a) (13 c)の磁気記録媒体か ら離れた側は非 磁性体で構成 して もかま わない。
    [0015] " 又 （18a) 及び （18b) は夫々 軟磁性材料薄膜 よ ]) な 記録再生用主磁極 do)よ 下流側に配された ト ン ネ ル消 去用主磁極を示し、 この ト ン ネ ル消去甩主磁極 （18a) 及び （i8b) を記録再生用主磁極 の幅よ i 小なる間隔 で配する。 この場合非磁性ガー ド部材 (12b) 及び非磁 性体 （i3b) の記録再生用主磁極 が接合された面 とは 反対側の面にこの ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b)を 記録再生用主磁極 do)の幅 よ ] 小なる間隔で配 して、 こ の消去用主磁極（18a) (18b) を非磁性ガー ド部材 (12b) 及び非磁性体 （13b) と非磁性ガー ド部材 （12c) 及びそ の後方に接合された磁気コ ァ （13c) とで両側か ら挟持 する如 く 接合する。 こ の磁気コ ア （13c) は ト ン ネ ル消 去用主磁極（18a) (18b) の磁束の リ タ ー ンハ。ス を構成す る。 こ の磁気コ ア （13c) の非磁性ガー ド部材 （12c) の 接する側の ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b)の近傍に この ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a) (18b)の近傍の補助磁 極部 （19a) と この ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b)の 磁束の リ ター ンハ。ス となる リ ター ン ハ0ス部 （19b) と を 分離する溝部 (20)を設ける。 こ の溝部 (20)及び非磁性体
    [0016] (13b) の溝部 (L6)を通 して ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a)
    [0017] (18b) に消去用巻線 (21)を施す。
    [0018] 斯る垂直記録甩単磁極型複合磁気へッ ドを製造する 場合につ き第 4 図以下を参照 して以下に述べる。 先ず 第 4 図 Aに示すよ う に 2 つの非磁性ブロ ッ ク材 (22)及び ）を用意する 。 こ の非磁性ブ ロ ッ ク材 (23(23)は緻密で、 フ ェ ラ イ ト と同程库の膨張率を持ち硬い材料が良い
    [0019] O PI
    [0020] ^WIPO ( 例えば Z n - フ ェ ラ イ ト 等の非磁性 フ ェ ラ イ ト ， フ 才 ル ス テ ラ ィ ト ， フ ォ ト セ ラ 厶 ， 結晶化ガ ラ ス ， チ タ ン 酸バ リ ウ ム ， チ タ ン酸カ ル シ ウ ム ， Αβ 203 - T i C系 ， あ るいは Z r 02系のセラ ミ ッ ク ス等 ）。 一方の非磁性ブ ロ ッ ク材 (22)に後に巻線穴 (16)とな る溝 (24)を所定の寸法の間 隔 で付ける （ 第 4 図 B ) 、 次に溝入れ した'面 ¾鏡面研 磨する。 も う一方の非磁性プ ロ ッ ク.材^ も鏡面研磨す る。 次に こ の 2 つの非磁性 ブ ロ ッ ク材をガ ラ ス融着 ， エ ポ キ シ樹脂等の有機接着剤 ， 水ガ ラ ス等の無機接着 剤等で接着する （ 第 4 図 C ) 、 次に溝 (24)の中間で溝 (24) と並行に切断 して切断面を鏡面研磨する。 この時巻線 穴 (16)の部分の コ ア一の厚さ （ ， W2 ) は巻線径を与え る こ と にな るので重要で、 記録再生感度を良 く するた めには巻線径は小さ ほど良いか ら コ ァ 一の厚さは薄 いほ ど良い。 従って機械的強度が許すかぎ 、 又加工 が可能なかぎ ])薄 く する こ とが望 ま しい。 例えば、 1 0 0 以下で きれば 5 0 以下が望ま しい。 特 に感 度を要求される録再卷線側を薄 く したい。 ト ン ネ ル消 去側は録再側ほど感度を要求されないので、 全体 と し ての強度を保っため録再側を薄 く 、 ト ン ネ ル消去側を それ よ ]9 厚 く する こ と も考え られる。 又研磨面 と 側面 ( 第 4 図 D で正面側 ） を高精度に直角にする と 同時に エ ッ ジ部分のカ ケを少な く して、 エ ッ ジが正 し く 出る よ う にする。 例えば第 4 図 B で正面になっている面を 最初か ら鏡面研磨 しておき、 それに高精度で直角に溝 を入れる こ と に よってこの条件を比較的容易に実現で き る。
    [0021] 次に第 4 図 E に示すよ -う に鏡面研磨面に記録再生用 主磁極 と ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b)を作る。 作 ] 方 と してはまず両研磨面に SiO2 ， Si3N4 , A£203 Zr02 等の膜をス ハ。 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ンプ レ ーテ ング等 の方法で、 0.1〜： L 0 Am 程度付ける。 でき るだけ緻密 な膜ができ る条仵で付けるのが良い。 この膜は付けな く ても 良いが、 付ける こ と に よって この上に付ける磁性 薄膜の磁気特性を改善でき る。 次にまず一方の面、
    [0022] ( 第 4 図 D、 第 5 '図で Wi と W2 が等 しく ない場合は、 小さい側、 すなわち Wi側の面が望ま しい） に記録再生 用主磁極 C10) となる磁性薄膜 （ ハ0—マ ロ イ ， セ ン ダ ス ト Co - Zr ， Co -Zr -Nb 等のア モ ル フ ァ ス磁性膜等の高 透磁率磁性膜 ） をス ハ。 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン プ レ. "^ テ ン グ ， メ ツ キ等の方法で 0.05 !！！〜 3 im 程度付ける。 こ の厚さは必要とする分解能、 録再感度等を勘案 して決 め られる。 0.1 〜 0.5 Am 程度が実用的である。 次 に この磁性膜を所定の ト ラ ッ ク幅 と間隔でス ト ラ イ プ 状になる よ う にホ ト エ ッ チ ン グ （ 湿式 ， ド ラ イ ） する, このと き後に付ける ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b) との位置合わせをするため基準にする端か ら所定の位 置にス ト ラ イ プが く る よ う にする。 こ の磁性膜の形状
    [0023] OMPI は ス ト ラ イ プ状ではな く 第 6 図に示す よ う に接合部以 下の部分を よ ] 広 幅に して も良い。 これに よ つて高 感度にでき る。 更にこの上に保護膜 と して Si02 ， Si3N4， A&203 ， Zn02 等の硬い膜をス ハ0ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン プ レ ー テ ング等の方法で 0.1 m〜 3 m程度付ける。 次に 反対側の面に ト ン ネ ル消去用の主磁極 と な る磁性薄膜 ( ハ0 — マ ロ イ ， セ ン ダ ス ト ， Co - Z r ， Co - Zr - Nb等の ア モ ル フ ァ ス磁性膜等 ） を 0.：！ 〜 5 m程度ス ハ0 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン プ レ ー テ ン グ ， メ ツ キ等の方法で付ける。 厚さは消去の感度が最も 良い と ころ にセ ッ ト されるが 多 く の場合、 · 0.5〜 1 ίπι 程度が適当であ る。 次にそれ ぞれの録再磁性膜に対応 して所定の幅で、 2 本の対に なったス ト ラ ィ プ状の磁性膜にホ ト エ ッ チ ン ^する。 その上に保護膜 と して Si02 ， Si 3N4 ， A£ 203 , Zr02 等の硬い膜を ス ハ。 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン プ レ ー テ ング等 の方法で 0.1 111〜 3 im 程度付ける。 ト ン ネ ル消去用磁 ' 性膜の形は第 7 図の よ う に しても よい。
    [0024] 第 8 図は記録再生用主磁極（10) と ト ン ネ ル消去用主磁 極 （18a) (18b)の相互位置関係を示す。 記録再生用主磁 極 0)の幅 Ti は ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a) (18b)の間隔 Τ0 よ 広 く なつてい る。 記録再生用主磁極 (10)で記録さ れた後、 ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a) (18b)で端が消 さ れるので最終的に記録される ト ラ ッ ク幅は ト ン ネ ル消 去用主磁極 （18a)及び （18b) の間隔 To に等 しく なる記録
    [0025] OMPI 再生用主磁極 αθ)と ト ン ネ ル消去用主磁極 （18 a ) (18b)は 高精度に位置合わせをする必要がある。 最初記録再生 用主磁極 αο)を基板の端から高精度に位置決め しておき- 次に ト ンネル消去用主磁極 （1 8a ) (18 b )も端を基準に し て位置決め を行 う。 そのため前に述べた よ う に基準に する ·側面は直角でエツ 、クが シャ一？° になっている必要 があ る。 別の位置決め方法と して、 透明な基板を用い ( 接合してあるのでどち らか一方が透明であれば充分 である ） 2 回 目 の磁極のハ0ター ン ニ ングを行 う と き裏 側か らハ。 タ ー ンの位置を確認して、 位置決めをする方 法も考えられる。
    [0026] 次に第 4 図 F に示す複合ブ ロ ッ ク を用意する。 この 複合プ ロ ッ クは第 9 図に示す如 く 作る。 第 9 図に於い て先ず、 非磁性板状ブ α ッ ク (3Dと磁性材ブ D ッ ク（32) と を用意する。 この非磁性板状ブ ロ ッ ク （31)と しては第 4 図に示す非磁性プ D ッ ク^と同様な材料が用い られる が硬く 緻密で、 フ ェ ラ イ ト，と同程度の膨張率を持った 非磁性材であれば—特に限定される も の ではない。 また 磁性材ブ nr ッ ク（33は Μη - Ζ η系、 N i - Ζη 系 フ ェ ラ イ ト 等 よ ]}構成 し得る。 こ の非磁性板状ブ ロ ッ ク （31)及び磁 性材プ ロ ッ ク （32) の夫々 の一面を鏡面研磨する。 次に磁 性材ブロ ッ ク（32)の鏡面研磨面 （32 a ) に溝 (33)を所要間隔 で形成する。 この状態で磁性材ブ π ッ ク（32)の鏡面研磨 面 （32 a ) に非磁性板状 プ ロ ッ ク（31)の鏡面研磨面 （3 1 a) 1 を対向 させて接合する 。 こ の接合は ガ ラ ス融着或いは エ ポ キ シ接着剤等の有機接着剤、 若 し く は水ガ ラ ス等 の無機接着剤 (34)に よ って行い得るが、 ガ ラ ス融着が望 ま し く 後の工程で再び ガ ラ ス融着する こ と があ る ので 2 度目 の融着で溶融 しない程度 に高軟化温度 を有する ガ ラ ス を用い る。 次に、 鎖線 mi , m2 ， m3 に示す面 に沿って非磁性板状 プ ッ ク （31) と磁性材 プ ロ ッ ク（32)の 接合体 (35)を所要の厚さ に非磁性板状 ブ ロ ッ ク （31)及び磁 性材プ ロ ッ ク（32) を横切 る よ う に切断 して一方の複合 プ ロ ッ ク（36) を切出 す。 次 に、 こ の複合ブ ロ ッ ク （36)の一方 の面 （36a) を鏡面研磨する 、 こ の時補助 コ ア （36b) と な る部分の厚さは第 4 図 D の場合と 同様高感度にす る ため加工時の機械的強度が許す限 ] 薄い方が良い。 こ の複合プ ロ ッ ク を第 4 図 E の両側か ら ガ ラ ス 融着、 ェ ポ キ シ樹脂等の有機接着剤、 水ガ ラ ス等の無機接着剤 で接着す る （ 第 4 図 ) 。 その'後各 へ ッ ド、に切断 して 摺動面を研磨 し、 巻線 して第 2 図の如 く する 。 '
    [0027] こ れま での説明 では中央の プ ロ ッ ク の両側に磁極を パ タ ー ン ニ ン グ したが、 両側に接着 した複合 プ ロ ッ ク 側 にそれぞれ記録再生用主磁極 、 ト ン ネ ル消去用主 磁極 （18a) (18b) をハ。タ ー ン ニ ング して第 4 図 D で作つ た中央プ ロ ッ ク と 共に接合 して作 る こ と も で き る 。 こ の場合には記録再生用主磁極 αο) と ト ン ネ ル消去用主磁 極 （18a) (18b) の位置合わせがむづか しい。 次に磁極の長さ Lm (第 1 図に示す様に、 補助磁極部 (6)よ 突出 した主磁極部の長さ ） が記録再生感度に大 きな影響を与え、 高感度に しょ う とする と短か く する 必要があ る。 しか し第 2 図に示す よ うな構造では L m を短かく してい く と巻線穴の部分が薄 ぐ な ])、 ついに は穴がぁズ こ とになる。 そこで複合基板の接合部を傾 斜させる こ と を考えた。 第 1 0図がそのへッ ドの断面図 であ る。 中央の磁性薄膜付ブ ロ ッ ク は第 4 図と同 じで ある。 両側のプ ロ ッ クは第 1 1図に示すよ う に して作る < その他の手順については第 4 図 と 同 じである。 この よ う にする こ とに よって Lmを小さく しても巻線穴部分の ガー ド材の強度を保つこ とができ る。
    [0028] 通常、 記録再生用主磁極 は再生の分解能を高 く す るため磁極の厚さを薄 く する と と もにへッ ド、媒体間 ス ぺ 一 シ ングをでき るだけ小さ く する必要があ る。 一方 ト ン ネ ル消去磁極は DC消去ができれば良いので磁極の 厚さを厚 く でき る上、 記録再生甩主磁極 αο)ほどス ぺ ー シ ン グ を問題にする必要がない。 そこで良好な当 ])が とれやすい中央に記録再生用主磁極を配置 した檮造の ヘ ッ ドを考えた （第 1 2図） 。 中央プ ロ ッ クは第 1 3 図に 示すよ う に巻線穴及び切断を傾斜させて作る。 両側の ブロ ッ ク は第 11 図に準 じて作る こ とができ る。
    [0029] 録再感度が同 じであれば巻線ィ ン ヒ。一ダ ン スは小さ い方が良い。 卷線 イ ン ヒ。一ダ ン スは巻線内の フ ェ ラ イ ト コ ア一の断面積に大き く 依存 してい る。 これま での へッ ド、では巻線内のフ ェ ラ イ ト コ ア一の幅 （ ト ラ ッ ク 幅方向 ） はへッ ド、の厚さになってい る。 実際に必要な コ ア一の部分は録再 （ 又は ト ン ネ ル消去 ） 磁極膜に対 向する部分だけであ る。 そこで磁極膜に対向する部分 以外の と ころをガ ラ ス等で充塡する構造にする こ と に よって卷線 ィ ン ピ一ダ ン スを下げる こ と ができ る。
    [0030] 又、 第 4 図に示 した中央プ ロ ッ ク の作 ] 方の他に、 次の よ う に して も作る こ とができ る。 第 1 4図に示すよ う に、 非磁性体プ π ッ ク（22)に等線溝 (24)を入れ、 上部の 部分を ガ ラ ス（25)で埋める、 （ 同質の非磁性板 (26)で溝 (24) に蓋を した後ガ ラ ス棒 （25 a) を入れ、 加熱融解 してガ ラ ス でブ リ ッ ゾを作る ） 各々 のプ ロ ッ ク に切断後側面 を鏡面研磨する と 中央プ ロ ッ クがで き る 。 こ れの特徵 は鏡面研磨する面が同一物質で出来ていて、 第 4 図に 示 した も のの よ う に接合部が鏡面研磨面に出ない こ と である。 鏡面研磨 した場合、 接合部は硬さが異るため 段がで きやす く 、 段が無い よ う に鏡面研磨するには高 度な技術が必要であ ] 、 又それだけ歩留 ！）が悪 く な る c こ の方法はこ れが解決でき る。 第 1 5 図はこれを用いた へッ ドの断面図であ る。 摺動面にガ ラ ス（25)が出 る ので こ の部分が多少凹 み、 又 多少傷付きやすい とい う欠 点はある。 摺動面研磨の と き注意が必要である。
    [0031] 上述の本例に依る垂直記録用単磁極型複合磁気へ ッ
    [0032] O PI ドを例えばフ レ キ シ ブ ル デ ィ ス ク装置の記録再生へッ ドと して使用 し、 磁気記録媒体 ΐ)に記録する と きは記 録再生用主磁極 の記録再生用巻線 (17)に記録信号を供 給 してこ の記録再生用主磁極 αο)によ 垂直磁気記録が 行われる と共に ト ン ネ ル消去用主磁極（18 a) (1 8b )の消 去用巻線^に消去電流 （ 直流 ） が供給され、 この記録 ト ラ ッ ク の両側が消去される。 従って磁気記録媒体 ΐ) . の取付け時の多 のずれ、 温度、 湿度の変化に よ る伸 縮等があ ] ト ラ ッ ク のずれが生 じても再書き込時に前 データの消 し残 ] 等が生 じる こ とがな く 、 再生時に正 確なデータ を得る こ と：^でき る。
    [0033] 又上述垂直記録用単磁極型複合磁気へッ ドの製造ェ 程上に於いては鏡面研磨を必要 とする箇所は常に同一 平面上にあ ]) ( 例えば段差があ る 2 つの平行な面を鏡 面にする よ う な工程が無い ） それだけ製造が容易 とな 、 又接着面は常に同一平面上にある構造になってい る ので接着層を非常に薄く でき、 又接着も容易である 又主磁極用磁性薄膜はス ハ。 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン プ レ ー テ ン グ ， メ ツ キ等の方法で作るので、 その厚さの制 御は容易であ ]9、 又その幅はエ ッ チ ングで決るので ト ラ ッ ク幅の狭 ト ラ ッ ク化が容易であ ] 、 高精度の加工 ができ、 記録再生用主磁極 αο)と ト ン ネ ル消去用主磁極
    [0034] ( 18 a ) (18 b ).との位置合わせが容易である。
    [0035] 又更に記録再生用主磁極 ο) と ト ン ネ ル消去用主磁極 (18a) (18b) との間隔 a を短 く し良好に記録再生で き る よ う に した もの と して第 16図〜第 27図に示す も のが ある。 以下この第 1 6 図〜第 27 図につ き説明する にこ の第 16図〜第 2 7図に於いて第 1 図〜第 15図に対応す る部分には同一符号を付 し、 その詳細説明 は省 略す る
    [0036] 第 16 図に於いて、 （37)は非磁性体を示 し、 こ の非磁性 体 (37)における磁気記録媒体走行方向の幅を前述例に比 し幅狭にする 。 それゆえ、 第 8 図に示す よ う に、 この 非磁性体 (37)の両側に位置する記録再生用主磁極（10) と ト ンネ ル消去用主磁極 （18a) (18b) との間隔 a は幅狭と な る o
    [0037] また （18 は、 磁気記録媒体の走行する面 ら後退 した位置'において、 ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a) (18b) に磁気的に接合されて消去用主磁極か ら走行する磁気 記録媒体の下流側 に曲がった磁路を形成する補助磁極 部を示す。 この構成に よ ]9、 記録再生用主磁極 と ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a) (18b) との間隔を近づけても ト ン ネ ル消去巻線 (21)の巻線ス ペ ー ス を確保でき る。
    [0038] また、 他の.部分は第 10 図と同様の構成とする。
    [0039] 次に、 こ の本実施例の製造工程に.ついて説明する。
    [0040] 第 10図例の製造工程 と同様に して第 1 1 図の複合ブ ロ ッ ク を得た後、 以下の工程で第 16図に示した磁気へッ
    [0041] の左側の部分 と右側の部分を製造する。
    [0042] OMPI WHO まず、 右側即ち ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b)側 の部分の作 ！）方を説明する。 第 17図に示すよ うに、 ま ず、 ト ン ネ ル消去用主磁極膜を付ける面にまず先に Si02 , S i3N4 , Afi203 ， Zr02 等の保護膜を 0.1 ！!！ 〜 1 m 程度、 ス ハ0 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン ： 7° レ 一 テ ン グ等で 付ける。 これは、 基板か らの不純物の浸透を防ぐため である。 次に、 ト ン ネ ル消去用主磁極膜と してハ。一マ 口 ィ ， セ ン ダ ス ト ， Co - Zr ， Co -Zr - Nb等の了モ ル フ ァ ス磁性膜等をス ハ0 ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン プ レ ー テ ン グ ， メ ツキ等の方法で付け、 厚さ 0.1 〜 5 im程度の所定 寸法になる よ う にホ ト エ ッ チ ン グ して ト ン ネ ル消去用 主磁極 (18a) (18b)を形成する。 この時録再磁極プ ロ ッ ク と接合の際の位置合わせを容易にするため磁極の位 置を高精度面 よ 所定の位置に ト ン ネ ル消去用主磁極 (18a) (18b)が配置される よ う にマ ス ク 合わせをする。 更に保護膜 (38) と して S i02 , S 13N4 ， A£203 ， Zr02等の 膜をス ハ0ッ タ ， 蒸着 ， イ オ ン ： 7° レ 一 テ ング等に よって
    [0043] 0.5 iir！ 〜 3 m 程度付ける。 次に、 その上に 記録再生用 主磁極 と ト ン ネ ル消去用主磁極と を隔てるための非磁 性体 (37)を第 18図に示すよ う に接着する。 この非磁性体 (37)は、 非磁性ガー ド部材 （12a) (12c) と同一材料を使用 するのが好ま し <： 、 厚さは 50 ！!!〜 200 urn程度が好ま しい。 これは薄 く なれば記録再生用主磁極 と ト ン ネ ル 消去用主磁極が近づきすぎるため漏洩磁束が問題にな 、 厚すぎれば第 10図例 と 同等になってしま う か らで ある。 この非磁性体^)は直接 50 m〜 200 Amの厚さの ものを接着するこ ともでき る し、 少 し厚い例えば 500 im の もの を接着 した後研削研磨 して所定の厚さに しても 良い。 次に、 ト ン ネ ル消去用巻線 (2 及び記録再生用巻 、線 (17)のための溝 (39)を第 19 図の如く 所定の寸法で入れる。 この と き、 先に入れて あった溝 (33)と今度入れた溝 (39)と で形成さ.れる磁性材部 （ 18 が、 ト ン ネ ル消去用主磁 極の一部 となる のである 。 この厚さは 200 !！！ 〜 300 «η 程度が適当 である。 薄く する と溝入れでコ アが割れる 恐れがあ ] 、 また厚すぎる と、 消去用卷線 (21)の径が大 き く な ] 、 巻線イ ン ヒ。 一 ダ ン ス が増すと と も に効率が 悪 く なつて しま う ためであ る。
    [0044] 次に、 左側即ち記録再生用主磁極側の部分の作 方 を述べる。 第 20 図に示すよ う に複合ブ ロ ッ ク の面を鏡 m仕上げ した上で記録再生用主磁極 do) とな るハ。 一 マ ロ イ， セ ン ダ ス ト ， Co - Zr , Co- Zr -Nb等のア モ ル フ ァ ス磁 性膜を付け、 所定の寸法にホ ト エ ッ チ ン グする。 こ こ で磁気 コ ア （13a) と非磁性ガー ド部材 （12a) との接合 面は主磁極 ο)に対 して鋭角にな る。 記録再生用主磁極
    [0045] (10) と ト ン ネ ル消去用主磁極 （18a) (18b) の位置合わせの ため磁性材プロ ッ ク（32)の側面 を鏡面に し、 更に主磁極 面 と側面 と を精度良 く 直角にする。 また、 左右の複合 ブロ ッ ク の基準面を合わせた時、 所定の位置になる よ う にあ らか じめ記録再生用主磁極 o)の位置ぎめを して お く 。 この よ う に してで き た 2 つの ブ ロ ッ ク を基準面 を一致させてガ ラ ス融着 ， ヱ ボ キ シ等の有機 ， 水ガ ラ ス等の無機接着剤に よ ])接合する （第 21図） 。 次に磁 気記録媒体 との摺動面を fg筒研磨し、 磁極膜が所定の 長さになる よ う に してから各へ ッ ドに分離切断する。 そ して、 ペー ス基板に接着 して録再卷線及び ト ン ネ ル 消去卷線を行ってこ の実施例の垂直記録用単磁極型複 合磁気ヘッ ドを得る。
    [0046] 以上述べたよ う に本実施例に よれば、 ト ン ネ ル消去 甩主磁極 （18a) (18b) に磁気的に接合されて、 ト ン ネ ル 消去用主磁極から磁気記録媒体の下流側に曲がった磁 - 路を形成して巻線ス ペ ー スを確保 したので、 記録再生 用主磁極と ト ン ネ ル消去用主磁極の間隔を優れた電磁 変換特性を損なわずに短く する こ とができ る。
    [0047] 従って、 磁気記録媒体が ト ン ネ ル消去用主磁極（18a) (18b) と当接する タ イ ミ ングが記録再生用主磁極 (L0)と 当接する タ イ ミ ン グか ら遅れる時間を少な く でき、 良 好に記録再生でき る利益がある。
    [0048] また、 上述実施例における磁性材部 （18 ） を第 22 図に示す よ う になめ らかな形状 とする を可とする。 こ のと き、 例えばガ ラ ス （18c) によ D補強する を可とす る。 この よ う になめ らかな形状とする こ と に よ ] 、 漏 れ磁束が減 消去用主磁極の先端 （ 記録媒体と接触す
    [0049] OMPI る部分 ） が卷線 (21)の中心の延長上にない こ と に よ 生 じる効率の低下を和 らげる こ と の でき る利益があ る。 この よ う ななめ らかな形状 とする には、 第 23 図に示す よ う に溝（33)を入れる際に溝の端部 （33a) を所定形状に 欠いた形にする。 また、 第 24図のよ う に非磁性板状ブ ロ ック（31) と磁性材プ π ッ ク（32) と をガ ラス に よ ] 接合す る際に同時に補強用のガ ラ ス （18c) を配する よ う にす る こ と も で き る。 また、 こ のなめ らかな形状は円筒形 で あって も よ い。
    [0050] また、 第 25 図の如 く ト ン ネ ル消去用主磁極の巻線 (21) 部分を傾斜させる構成を採る を可とする。
    [0051] また、 第 26 図はこの他の実施例を示す。
    [0052] この例は上述第 16 図例の ト ン ネ ル消去用主磁極の巻 線用の溝 (33)を切 ])溝 ) と した も のであ る。 他の部分は 上述第 16 図例同様に構成する。 この例に よ って も第 16 図例同様の作用効果が得 られる こ と に加えて拳線 し易 く なる利益があ る。 *
    [0053] こ の製造法はほ とんど第 16図例と同様であるが、 第 27 図に示すよ うに、 切 ] 溝 (33¾を幅広に形成 し、 切断面 ΙΉ! , m2……を同図の如 き位置とする点が異なる も の で る。
    [0054] 更に消去側のコ ィ ルは磁気コ ア部 と対接面のガー ド 部材の界面に薄膜コ イ ルを形成 し、 消去用主磁極が薄 膜コ イ ル中心で磁気コ ア部 と磁気的に接合される様に
    [0055] OMPI しても よい。
    [0056] 尚、 本発明は上述実施例に限 らず本発明の要旨を逸 脱する こ とな く その他種々 の構成 とで き る こ とは勿論 である。
    权利要求:
    ClaimsS E 求 の 範 囲
    1. 軟磁性材料薄膜 よ D な i) 一端において磁気記録媒 体に対向 し、 所定の幅を有する記録再生用主磁極 と 該記録再生用主磁極を上記磁気記録媒体対向面にお いて両側か ら挟む非磁性ガー ド部材 と、 該非磁性ガ
    — ド部材 と一体化され、 少 く と も上記記録再生用主 磁極の一面に接 し、 上記磁気記録媒体から所定の距 離後返 した位置に配された磁性コ ア部と、 該磁性 コ ァ部に設け られ、 上記記録再生用主磁極に接する第
    1 の補助磁極部 と上記記録再生用主磁極の磁束の リ タ ー ン ハ。 ス とな る リ タ ー ン ハ。 ス部 と を分離する溝部 と を有 し、 該溝部を通 して上記記録再生用主磁極に 巻線が施されて成る垂直記録再生へッ ド部 と、 上記 磁気記録媒体に対向 し、 その走行方向において所定 の距離離れた位置に設け られ、 上記記録再生用主磁 極の幅 よ も小な る間隔 で配 された 1 対の消去用主 磁極と該消去用主磁極 を励磁する手段を有 し、 上記 記録再生用主磁極 と上記消去用主磁極 とが上記磁気 記録媒体対向面に いて非磁性ガー ド、部材を介 して 一体化された こ と を特徵 とする垂直記録用単磁極型 複合磁気ヘッ ド。
    2. 軟磁性材料薄膜 よ ])な ] 一端において磁気記録媒 体に対向 し、 所定の幅を有する記録再生用主磁極 と、 該記録再生用主磁極を上記磁気記録媒体対向面にお
    WIPO いて両側か ら挟む非磁性ガー ド部材と、 該非磁性ガ 一 ド部材 と一体化され、 少 く と も上記記録再生用主 磁極の一面に接し、 上記磁気記録媒体か ら所定の距 離後退 した位置に配された磁性 コ ア部と、 該磁性コ ァ部.に設け られ、 上記記録再生用主磁極に接する第
    1 の補助磁極部 と上記記録再生用主磁極の磁束の リ ター ン ス となる リ タ.一ンハ0ス部 と を分離する濤部 と を有 し、 該溝部を通して上記記録再生用主磁極に 卷線が施されて成る垂直記録再生へッ ド、部と 一対の 軟磁性材料薄膜よ J な ]9 、 夫 々 の一端に於いて上記 磁気記録媒体に対向 し、 上記磁気記録媒体の走行方 向 におい て上記記録再生用主磁極と所定の距離はな れた位置に設け られ上記記録再生用主磁極の幅 よ D 小なる間隔で配された消去用主磁極と、 該消去用主 磁極に接 し、 上記一端 よ ] 上記磁気記録媒体よ ])後 退した位置に設けられた第 2 の補助磁極と、 上記消 去用主磁極を励磁する消去巻線 と よ な る消去へッ ド部と よ ]) な 、 上記記録再生甩主磁極と上記消去 用主磁極が上記磁気記録媒体対向面にお て非磁性 ガー ド部材を介 して一体化されたこ とを特徵とする 垂直記録用単磁極型複合磁気ヘッ ド。
    3. 軟磁性薄膜よ Dな D—端において磁気記録媒体に 対向 し、 所定の幅を有する記録再生用主磁極と、 上 記磁気記録媒体の少なくとも上流側に上記記録再生用 主磁極の一端 よ J9 後退 して上記記録再生用主磁極に 接 して配された磁性材料 よ なる補助磁極部 と、 上 記磁気記録媒体対向面におい て非磁性ガー ド部材を 介 して上記記録再生用主磁極ど一体化され、 上記磁 気記録媒体の走行方向 におい て、 上記記録再生用主 磁極 と所定の距離はなれた位置に、 上記主磁極の所
    - 定の幅 よ も狭い間隔で配され、 それぞれの一端に おい て磁気記録媒体に対向する軟磁性薄膜 よ な る 一対の消去用主磁極 と、 上記磁気記録媒体か ら後退 した位置におい て、 上記消去用主磁極に磁気的に接 合されて上記消去用主磁極から上記磁気記録媒体の 下流側に曲がった磁路を形成する補助磁極部 と、 上 記記録再生用主磁極および消去用主磁極をそれぞれ 励磁する巻線 と を有する よ う に した こ と を特徵 とす る垂直記録用単磁極型複合磁気へ ッ ド。
    4. 請求の範囲第 1 項、 第 2 項又は第 3項記載の垂直 記録甩単磁極型複合磁気へッ ドにおいて、 上記磁性 コ ア部 と上記非磁性ガー ド部材 との接合面は上記記 録再生用主磁極か ら離れる に従って上記磁気記録媒 体か ら離れる よ う に した こ と を特徵 とする垂直記録 用単磁極型複合磁気ヘ シ ド。
    5. 請求の範囲第 1 項、 第 2 項又は第 3 項記載の垂直 記録用単磁極型複合磁気へッ ドにおいて、 上記磁性 コ ア部と上記非磁性ガー ド部材 との接合面は消去用 主磁極から離れるに従って上記磁気記録媒体から離 れる よ う に した こ とを特徵とする垂直記録用単磁極 型複合磁気ヘッ ド。
    OMPI
    "W1PO
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
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    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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